Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Comparison of technologies for nano device prototyping with a special focus on ion beams: A review
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BSO - Titre
Comparison of technologies for nano device prototyping with a special focus on ion beams: A review
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DOI
DOI
10.1063/1.4972262
XX
DOAI
DOAI
10.1063/1.4972262
XX
Identifiant WoS
WOS:000396903400006
XX
Accès ouvert
OA - Oui
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Editeur
XX
Editeur
AIP Publishing
XX
Source
APPLIED PHYSICS REVIEWS
XX
ISSN
1931-9401
XX
Type de document
Review
XX
Notoriété
5 - Exceptionnelle
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INP - Institut de physique
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/VZ9Z30W7
12/10/2021 14:52:38 (latest)
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